비접촉 두께측정 현미경
THS시리즈

특수 고안된 Focus Indicator (Target Mark)
편리한 초점 조절 가능. 높은 정확도로 반복 측정 가능.
운영자에 따라 발생 가능한 불일치를 초점 차이 및 측정값의 차이를 완전 제거.

특 징

비접촉 측정 시스템으로 미세한 부분의 측정 가능
Target Mark system의 고정밀 초점 메커니즘을 이용한 우수한 고 정확성 확보
광범위한 적용 : 최고 10mm까지 측정 가능
측정 대상물의 형상과 정확한 위치를 보면서 두께를 측정 가능
두께 외에도, X.Y 값과 깊이를 탐지
광학방식으로 사용이 편리

원 리

THS는 광학 초점 검출 방식에 기초한 비접촉 두께측정 장비이다.
각각의 개별 초점 검출기 (Target Mark)를 통합한 정밀초점 유닛과 상하부의 현미경 광학 시스템을 결합한 방식으로 개발 되었다. THS는 광학 현미경 처럼 사용이 매우 편리하다. 더욱이 Target Mark를 이용하여 모니터 상에서 선명한 이미지의 화면을 볼 수 있다.

방 식

우선 스테이지에 샘플을 배치하지 않고, 수직으로 상위의 광학 시스템을 움직여서 초점 범위로 Target mark를 이동시킵니다. 그리고, 두개의 분리된 모니터에 Target mark를 확인 합니다. 그리고, Z축을 zero로 재설정 합니다.

현미경 스테이지에 샘플을 위치시키고, 하위 광학시스템을 샘플의 가장 아래 쪽에 초점을 맞춥니다.

위의 광학시스템을 이동하여 샘플의 맨 위쪽에 초점을 맞춥니다.

위쪽 광학 시스템의 이동 거리는 샘플의 두께로 측정이 됩니다.

적용 분야
반도체 : Silicon wafers, lead frame fingers, etc.
전기전자 : Printed circuit boards, hybrid IC steps, etc.
기타 : Lid of can, aluminum sheet, magnetic tapes, photographic films, etc.